在电子和电力行业超纯水工艺中降低TOC

水的纯度对于电子和电力行业的生产至关重要。水中的污染物会影响产品质量,特别是在生产微电子元件的半导体行业。因此,在这种情况下,只能使用最高纯度的水,如超纯水。

在用于这些生产活动的超纯水系统中,将总有机碳(TOC)水平降至最低至关重要,因为TOC会留下残留物,并对最终产品造成小的缺陷。Evoqua懿华全新的ATGTM VT TOC系列紫外线消毒系统 是为电子和电力行业的超纯水工艺中显著地降低TOC而设计的。

在最终抛光之前,通常将安装降低TOC的UV装置,作为整个超纯水处理工艺(见图1)的一部分。紫外线装置将UPW暴露在185nm的紫外线下。这种波长的紫外线产生了一种短寿命的羟基自由基,能够以足够的紫外线能量将TOC分解成二氧化碳。因此,有效降低TOC紫外线装置的关键是最大限度地提高185nm处的紫外线输出。

Evoqua懿华的VT TOC系列仅使用灯具结构中最优质的材料,提供市场领先水平的185nm紫外灯和较长的工作寿命(16000小时或更长)。VT TOC系列使用大功率灯,以尽量减少安装在系统中的总的灯的数量。

随着灯数量的减少,运营商将能够通过Spectra 3控制系统(专为控制灵活性和系统集成而设计的先进微处理器)调整TOC灯具功率输出水平,从而降低投资和运营成本。可变功率控制允许根据电厂要求实时改变剂量输送。通过一系列用户可选择的模拟、数字输入和输出,再加上Modbus®功能,Spectra 3可与大多数SCADA或BMS系统连接。Spectra 3还提供了一个数据记录设施,当设备连接到互联网时,可以通过手机或平板电脑远程检查性能。

该系统还完全可选配置,允许客户从一系列选项中进行选择,以满足其个人需求。该型号还采用Evoqua懿华的专利TwistLokTM灯连接技术,将简单的灯连接与机械安全联锁相结合,以安全快速地更换灯。结合V形夹技术确保正确连接,石英密封件和灯泡更换的维护简单、快速、可靠。